ニコン（7731）は30日、高集積化する半導体デバイスに対応したLSI検査自動化顕微鏡「ECLIPSE L200A」を開発したと発表した。主な操作を電動化して最適な観察条件を自動的に再現。SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）が定めた半導体製造装置の安全性/人間工学に基づくエンジニアリングに対するガイドラインのSEMIスタンダードにも適合させた。

　 ECLIPSE L200Aは、半導体製造工程における主にウェハの外観検査に使用する顕微鏡。使用する対物レンズごとの最適なフォーカス位置、開口絞り、明るさ、微分干渉観察に最適なコントラスト位置など、各種データをレシピとして登録でき、再現が可能。これにより、検査作業者による誤操作や検査のばらつきなどの人的誤差が軽減でき、検査の標準化を実現する。

　 11月1日から発売し、初年度200台の売り上げを目標にしている。　価格は285万500円から。12月6日から幕張メッセで開かれる「セミコン・ジャパン2000」に出展する。