日立製作所（6501）は10日、IT産業の発展を支える半導体デバイスの高密度化などに寄与する世界最高水準の分解能を実現した走査電子顕微鏡を製品化したと発表した。分解能は0.5ナノミリ（加速電圧30キロボルト時）で、半導体のほかバイオ、素材などの評価、分析に使われる。

　 製品コードは「S-5200」。高分解能とユーザーの目的に合わせた観察を可能にする機能も「業界で初めて」（同社）搭載した、という。

　 S-5200は、対物レンズの中に観察試料（サンプル）を挿入して高い分解能観察を可能にする同社独自の手法を活用。同時に強励磁短焦点レンズを開発するなどで加速電圧が1キロボルト時でも1.8ミリという世界最高の分解能を実現した。

　 また、試料表面情報を観察する2次電子情報と試料の組成情報観察する反射電子情報を組み合わせたうえで制御し、高分解能の領域でユーザーの目的に応じた観察も出来るようになった、としている。

　 価格は8,400万円から。半導体メーカーなどに2001年1月から出荷を開始する。