次世代半導体に向けた国策新会社Rapidus トヨタ・ソニー・NTT

経済産業省は11日、次世代半導体の設計・製造基盤確立に向けた新たな研究開発組織を年内に立ち上げるともに、製造基盤の確立に向けた研究開発プロジェクトの採択先をRapidus株式会社に決定した。

研究開発組織の名称は、「技術研究組合最先端半導体技術センター(LSTC)」に決定。次世代半導体の量産に向けた、短TATかつ2nmノード以細の半導体の技術開発プロジェクトを実施する。

その量産製造拠点がRapidusで、「国内トップの技術者が集結し、国内主要企業からの賛同を得て設立された事業会社」とする。主な参画企業は、キオクシア、ソニーグループ、ソフトバンク、デンソー、トヨタ自動車、NTT、NEC、三菱UFJ銀行。三菱UFJの出資額は3億円、その他の7社が各10億円。

Rapidusの開発テーマは、「日米連携に基づく2nm世代半導体の集積化技術と短TAT製造技術の研究開発」。

米IBMらと連携し、2nm世代のロジック半導体の技術開発を行ない、国内短TATパイロットラインの構築と、テストチップによる実証を行なう。2022年度は、2nm世代の要素技術を獲得、EUV露光機の導入着手、短TAT生産システムに必要な装置、搬送システム、生産管理システムの仕様を策定し、パイロットラインの初期設計を実施する(開発費700億円)。研究期間終了後は、成果をもとに先端ロジックファウンドリとして事業化を目指す。